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    国产LL20系列准分子激光器，193-351nm，可产生高达800毫焦的脉冲能量，脉冲稳定性和出色的光束均匀性，易于集成，是高校、科研院所研究的得力工具。
    应用：脉冲激光沉积(PLD)、晶片剥离、激光剥离技术(LLO)、FBG 写入等等。

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产品详情

国产LL20系列准分子激光器，193-351nm，可产生高达800毫焦的脉冲能量，脉冲稳定性和出色的光束均匀性，易于集成，是高校、科研院所研究的得力工具。
应用：脉冲激光沉积(PLD)、晶片剥离、激光剥离技术(LLO)、FBG 写入等等。

特点脉冲能量最高800mJ；
金属陶瓷腔、主动净化系统、耐腐蚀放电电极材料，提高激光经济性能。
应用适用于激光脉冲沉积镀膜；
适用于激光剥离；
适用于激光退火；
适用于材料表面处理；

适用于精细加工；

等等。


介质气体ArF 
KrFXeClXeF
波长(nm) 193248308351
最大单脉冲能量(mJ)500800500500
平均功率(W)>12>20>12>12
最大重复频率(Hz) 30
脉冲宽度(ns)(FWHM) 25±5
能量稳定性(sigma,%)<1
光斑尺寸(FWHM,mm,V×H) 24x12
发散角(FWHM,mrad,V×H) ~3X1
冷却方式风冷/水冷
电源要求220V/50Hz/14A/1 phase
交互方式

RS485/RS232 (液晶触屏/PC)

外触发信号：光信号/电信号

尺寸L1500×W550×H780 mm³
质量300kg